棱鏡耦合儀SPA-4000利用波導(dǎo)耦合原理，測(cè)量薄膜或體材料的折射率，薄膜厚度，熱光系數(shù)以及波導(dǎo)損耗等，用戶可選擇632.8nm，830nm，1310nm，1550nm以及其它可見(jiàn)光和近紅外光源。
主要功能：
1、薄膜及波導(dǎo)折射率/厚度/波導(dǎo)損耗測(cè)量；
2、薄膜及體材料的雙折射測(cè)量；
3、體材料折射率的測(cè)量； 4、液體折射率的測(cè)量；
5、折射率隨溫度變化的測(cè)量分析；
6、折射率隨深度變化的測(cè)量分析； | 主要應(yīng)用領(lǐng)域：
1、光波導(dǎo)器件芯片的制備；
2、激光晶體的制備；
3、聚合物材料的屬性研究；
4、顯示技術(shù)相關(guān)材料的測(cè)量；
5、光/磁存儲(chǔ)材料的測(cè)量；
6、光學(xué)薄膜的制備； |
主要測(cè)量參數(shù)：
| 測(cè)量對(duì)象 | 測(cè)量?jī)?nèi)容及參數(shù) |
| 折射率 | 折射率測(cè)量范圍 | 1.0 - 2.45 |
| 折射率精度 | 0.001 |
| 折射率分辨率 | ±0.0005 |
| 厚度 | 厚度測(cè)量范圍 | 0.4? - 20? |
| 厚度精度 | ±0.5% |
| 厚度分辨率 | ±0.01? |
| 體材料（僅測(cè)折射率） | 折射率精度 | 0.0005 |
| 折射率分辨率 | ±0.0001 |
| 厚薄膜 | 厚度測(cè)量范圍 | 2? - 150? |
| 液體（僅測(cè)折射率） | 折射率測(cè)量范圍 | 1.0 - 2.4 |
| 折射率精度 | ±0.0005 |
| 熱光系數(shù) | 溫度測(cè)試范圍 | 室溫－150℃ |
| 波導(dǎo)損耗測(cè)量 | 測(cè)量限度 | below 0.05dB/cm |
可測(cè)量的薄膜和襯底材料類型：
硅、砷化鎵、玻璃、石英、GGG、藍(lán)寶石、鋰酸鈮等任何光滑的襯底材料均可測(cè)量。
| 薄膜類型 | 襯底類型 |
| Silicon Nitride | Silicon |
| Silicon Dioxide | Silicon Oxynitride | GaAs |
| Low-k films | Polymers
| Quartz |
| Polyimides | ITO | Glass |
| Zinc Sulfide | Titanium Dioxide | Sapphire |
| Sapphire | Epi Garnet | GGG |
| Photoresists | Holographic Gels | Lithium Niobate |
一些材料的厚度測(cè)量范圍：
| 薄膜類型和折射率 | 厚度和折射率同時(shí)測(cè)量 | 僅測(cè)量厚度 |
| 硅基上的二氧化硅（n=1.46） | 0.48-15mm
| 0.20-0.48mm |
| 硅基上的光刻膠（n=1.63） | 0.42-15mm | 0.18-0.42mm |
| 二氧化硅上的光刻膠（n=1.63） | 0.70-15mm | 0.30-0.70mm |
| 硅基上的聚酰亞胺（n=1.72） | 0.38-15mm | 0.15-0.38mm |
二氧化硅上的聚酰亞胺（n=1.72）
| 0.50-15mm | 0.16-0.50mm |
| 硅基上的氮氧化硅（n=1.80） | 0.35-15mm
| 0.14-0.35mm |
| 二氧化硅上的氮氧化硅（n=1.80） | 0.45-15mm | 0.13-0.45mm |
硅基上的氮化硅（n=2.0）
| 0.32-15mm | 0.12-0.32mm |
| 二氧化硅上的氮化硅（n=2.0） | 0.30-15mm
| 0.15-0.30mm |
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